Научно-исследовательский институт из Зеленограда выиграл конкурс на производство литографических материалов для нужд электронной промышленности.

Конкурс на определение подрядчика, который должен заняться разработкой и освоением производства литографических материалов для микроэлектронного производства, проводило в феврале–марте текущего года министерство торговли и промышленности. По итогам торгов контракт по максимальной цене в 1,14 млрд рублей подпишут с зеленоградским АО «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» (НИИМЭ), генеральным директором которого является президент Российской академии наук Геннадий Красников.

Согласно техническому заданию, исполнитель должен будет провести научно-исследовательскую работу под шифром «Фотолиз». Работы должны быть завершены до 12 декабря 2025 года, обозначено в конкурсной документации.

Актуальность данной работы объясняется прекращением поставок в Россию фоторезистов и антиотражающих покрытий иностранного производства для изготовления субмикронных интегральных схем, пишет сетевое издание Delta, специализирующееся, в том числе, на освещении событий в сфере госзаказа. Российские разработки аналогичных материалов и их производство в настоящее время отсутствуют, отмечается в публикации. Фоторезист — это светочувствительный полимерный материал, который наносят на обрабатываемый материал в ходе фотолитографии или фотографировки, чтобы получить на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. В настоящее время таким способом получают интегральные схемы в микроэлектронике. Как писало в октябре прошлого года профильное издание CNews, первый отечественный литограф, который сможет выпускать чипы по топологии до 7 нанометров, сейчас разрабатывает нижегородский Институт прикладной физики РАН. Полноценную работу оборудование может начать в 2028 году, но первый демонстрационный образец оборудования учеными РАН уже создан — на этой установке получены отдельные изображения на подложках с разрешением до предельных 7 нм.

Научно-исследовательский институт молекулярной электроники в Зеленограде ведет свою историю с 9 марта 1964 года. Спустя три года при НИИМЭ был создан завод «Микрон». Сегодня компания, расположенная в Северной промзоне, проводит исследования и опытно-конструкторские работы в области микро- и наноэлектроники. В ней работают больше 600 специалистов, в том числе три академика и два члена-корреспондента Российской академии наук, более 70 докторов и кандидатов наук. С 2015 года НИИМЭ является резидентом Особой экономической зоны «Технополис "Москва"».

Добавим, что в конце 2021 года НИИМЭ получил два контракта на общую сумму 2,6 млрд рублей на разработку технологических комплексов плазмохимического осаждения и травления. На закрытом вечере в честь 65-летия Зеленограда 3 марта текущего года гендиректор НИИМЭ и президент РАН Геннадий Красников рассказал о начинающемся, по его мнению, «ренессансе Зеленограда», который он связал с выделением «колоссальных ресурсов» на развитие микроэлектроники.